在光学精密加工领域,微纳结构元件的三维形貌检测是保障器件性能的重要环节。以微透镜阵列、衍射光学元件为代表的精密光学元件,其特征尺寸已突破亚微米量级,对表面轮廓精度与结构面形误差的检测要求达到纳米级分辨率。若加工过程中产生的边缘塌陷、周期畸变...
白光干涉仪作为一种常用的光学测量仪器,在材料科学领域中具有重要意义。首先,需要了解什么是白光干涉。白光是由各种波长的光混合而成的,而干涉是波动现象中的一种,常见的干涉现象包括光的干涉条纹、薄膜干涉等。白光干涉就是利用白光的干涉现象来分析材料...
激光共聚焦显微镜原理是由LED光源发出的光束经过一个多孔盘和物镜后,聚焦到样品表面。之后光束经样品表面反射回测量系统。再次通过MPD上的针孔时,反射光将只保留聚焦的光点。最后,光束经分光片反射后在相机上成像。为什么激光共聚焦显微镜成像质量更...
目前BGA封装技术已广泛应用于半导体行业,相较于传统的TSOP封装,具有更小体积、更好的散热性能和电性能。在BGA封装的植球工艺阶段,需要使用到特殊设计的模具,该模具的开窗口是基于所需的实际焊球大小和电路板焊盘尺寸考虑,模具的开窗口大小直接...
机床激光干涉仪利用激光干涉原理进行测量。它通过激光束的干涉来确定工件的形状、尺寸和表面质量等参数。激光束被分成两束,一束直接照射在被测工件上,另一束则通过反射镜后再与被测工件相交。这两束激光束在相交的地方产生干涉现象,根据干涉条纹的变化来获...
在半导体行业中,Bump、RDL、TSV、Wafer合称先进封装的四要素,其中Bump起着界面互联和应力缓冲的作用。Bump是一种金属凸点,从倒装焊FlipChip出现就开始普遍应用,Bump的形状有多种,最常见的为球状和柱状,也有块状等其...
随着超精密加工技术的不断进步,各种微纳结构元件广泛应用于超材料、微电子、航空航天、环境能源、生物技术等领域。其中超精密3D显微测量技术是提升微纳制造技术发展水平的关键,中图仪器自主研发的白光干涉扫描和共聚焦3D显微形貌检测技术,广泛应用于涉...
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