在光学精密加工领域,微纳结构元件的三维形貌检测是保障器件性能的重要环节。以微透镜阵列、衍射光学元件为代表的精密光学元件,其特征尺寸已突破亚微米量级,对表面轮廓精度与结构面形误差的检测要求达到纳米级分辨率。若加工过程中产生的边缘塌陷、周期畸变...
激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。广泛应用于光学、机械、电子等各种领域的测量。其中,平行度和垂直度的测量是激光干涉仪的重要应用之一。传统的测量方法通常采用机械测量或光学测量,但这些方法存在着精度低、误差大、易受环境影响等缺...
在现代制造业中,精确度和质量控制是至关重要的因素。而对于产品的尺寸和形状的测量,三坐标测量机成为了一种重要工具。一、为什么选择三坐标测量机?三坐标测量机是一种能够精确测量物体三维尺寸和形状的设备。相较于传统的测量工具,三坐标测量机具有以下优...
工业自动测量系统基于机器视觉、激光等技术,可以提高产品精度和生产效率。它基于数字图像处理技术和人工智能技术,能够在生产线上自动完成对产品尺寸的检测和测量,如用于各种形状、各种材质的产品的测量(机械零件的尺寸测量、汽车零部件质量控制、精密机床...
晶圆在加工过程中的形貌及关键尺寸对器件的性能有着重要的影响,而形貌和关键尺寸测量如表面粗糙度、台阶高度、应力及线宽测量等就成为加工前后的步骤。以下总结了从宏观到微观的不同表面测量方法:单种测量手段往往都有着自身的局限性,实际是往往是多种测量...
台阶仪是一种常见的工业测量仪器,广泛应用于大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。它能完成对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的...
随着科技的发展,测量工具也在不断地更新换代。其中,小型轮廓测量仪作为一种高精度的测量工具,已经被广泛应用于各种行业。它具有体积小、精度高、操作简便等优点,成为现代工业生产的重要工具。一、小型轮廓测量仪的原理小型轮廓测量仪是一种基于光学原理的...
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