SuperViewW光学摩擦磨损形貌轮廓测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点。

SuperViewW高精度光学3D轮廓测量仪实现各种精密器件及材料表面的亚纳米级测量。它能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。

SuperViewW光学3D轮廓仪检测仪以白光干涉技术为原理，针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，其复合型EPSI重建算法解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。

SuperViewW光学非接触式粗糙度3D轮廓仪采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3D重建算法，具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

中图仪器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光学轮廓仪能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

中图仪器SuperViewW光学3D轮廓仪粗糙度在线检测设备基于白光干涉原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，以3D非接触方式测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。