VT6000共聚焦光学测量显微镜基于光学共轭共焦原理，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，保证仪器的高测量精度。主要用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。

CEM3000系列国产台式扫描电镜仪器外型紧凑，空间适用性强，整机采用大量的抗干扰设计，避免使用环境造成的影响，拓宽了应用范围。同时，该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能，能够对不同类型的样品进行观测，具有高空间分辨率。

NS系列纳米级台阶高度仪线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

SuperViewW白光干涉三维形貌轮廓仪纳米级分辨率，非接触式测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图仪器CEM3000台式扫描电子显微镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。仪器操作简便，样品一键装入，自动导航和一键出图能力（自动聚焦+自动消像散+自动亮度对比度）帮助用户在短短几十秒内就可获取高清图像，大大提升了使用效率。

SuperViewW1白光干涉三维表面测量系统以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。